洁净无尘车间室内空气参数要求
(1)无尘车间室内温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。
(2)无尘车间室内新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的最大值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。
(3)无尘车间室内送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h);如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是≥15次/h)。
生物j9游会真人游戏第一品牌间级别：
1、100级、10000级、100000级；粒子生物粒子：室内压力Pa，mmH2O，温度℃，湿度%气流换气次数，照度Lx，粒径um。
洁净无尘车间洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的j9游会真人游戏第一品牌无尘厂房。
2、光学微电子行业j9游会真人游戏第一品牌工程设计方案分析之水冷柜机+FFU+增压新风柜+高效送风口与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或j9游会真人游戏第一品牌车间内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
